Установка вакуумного магнетронного распыления SNT VegaV (СНТ-Вега вертикальная ) – экономичное решение для мелкосерийного производства. Отличается высокой производительностью и равномерностью покрытий: установка позволяет напылять до 65 подложек (60*48 мм) с высокой +-1% равномерностью в партии. Безмасленая откачка, ионная очистка, контроль сопротивления и температуры, автоматизация процесса напыления – стандартный набор опций данной серии оборудования. Ионное распыление, кварцевый контроль толщины покрытия – опции по выбору.
| Система | SNT Vega V | ||
| Технологии напыления | Магнетронное распыление DC, Магнетронное распыление RF (опция), Ионный источник очистки | ||
| Наносимые материалы | Любой токопроводящий материал (для RF - диэлектрики), до 4 материалов в одном цикле напыления | ||
| Диаметр вакуумной камеры, мм | 600 | ||
| Параметры системы | |||
| Система откачки | Высоковакуумная безмасляная откачка | ||
| Предельный вакуум, Па | 5 х10-4 | ||
| Контроль покрытий | Система кварцевого контроля или резистивного контроля или контроля по времени | ||
| Подложкодержатель | Карусельного типа | ||
| Нагрев | ИК | ||
| Неравномерность покрытий, % | ± 2.0 | ||
| Отличительные особенности | Одностороннее напыление, высокая производительность | ||