Стратнанотек
Стратнанотек
  • О компании
  • Оборудование
  • Контакты
  • Ru
  • Eng
  1. Оборудование
  2. Оборудование
  3. SNT Vega
Оборудование:

SNT Vega

Краткое описание

Установка вакуумного магнетронного распыления SNT VegaV (СНТ-Вега вертикальная ) – экономичное решение для мелкосерийного производства. Отличается высокой производительностью и равномерностью покрытий: установка позволяет напылять до 65 подложек (60*48 мм) с высокой +-1% равномерностью в партии. Безмасленая откачка, ионная очистка, контроль сопротивления и температуры, автоматизация процесса напыления – стандартный набор опций данной серии оборудования. Ионное распыление, кварцевый контроль толщины покрытия – опции по выбору.

Технологии и параметры

Система SNT Vega V
Технологии напыления Магнетронное распыление DC, Магнетронное распыление RF (опция), Ионный источник очистки
Наносимые материалы Любой токопроводящий материал (для RF - диэлектрики), до 4 материалов в одном цикле напыления
Диаметр вакуумной камеры, мм 600
Параметры системы  
Система откачки Высоковакуумная безмасляная откачка
Предельный вакуум, Па 5 х10-4
Контроль покрытий Система кварцевого контроля или резистивного контроля или контроля по времени
Подложкодержатель Карусельного типа
Нагрев ИК
Неравномерность покрытий, % ± 2.0
Отличительные особенности Одностороннее напыление, высокая производительность

СТРАТНАНОТЕК
220070, Беларусь, г. Минск, ул. Радиальная, дом 54Б, офис 30
123317, Россия, г. Москва, наб.Пресненская , д.12, этаж 44, офис 4402, пом.9

  • О компании
  • Оборудование
  • Контакты