SNT Delta (СНТ Дельта) - вакуумная шлюзовая установка для нанесения износостойких алмазоподобных покрытий (DLC )
| Система | SNT Delta | ||
| Технологии напыления | Усиленное плазмой химическое осаждение из газовой фазы (PECVD), Ионный источник | ||
| Наносимый слой | Алмазо-подобное покрытие (Diamond-like carbon, DLC) | ||
| Параметры системы | |||
| Система откачки | Высоковакуумная безмасляная откачка | ||
| Предельный вакуум, Па | 6 х10-4 | ||
| Контроль покрытий | Система оптического контроля | ||
| Подложкодержатель | Планарного типа | ||
| Нагрев | ИК | ||
| Неравномерность покрытий, % | ± 2.5 | ||
| Отличительные особенности | Наличие шлюза | ||