Уникальный роботизированный комплекс специального назначения для встраивания в чистые комнаты типа EFEM-оборудование. Предназначен для полной автоматизации обработки подложек размерами до 200x200 мм.
Комплектуется автоматизированными загрузочными портами (Load port) для работы с SMIF контейнерами 200 мм.
Позволяет открывать SMIF-контейнер, извлекать подложки из кассеты при помощи робота-манипулятора, осуществлять перенос подложек в место технологической обработки и обратно в кассету. Перемещение подложек осуществляется в чистой среде обеспыленного воздуха.
Считывает идентификационный номер SMIF-контейнера и индивидуальный номер каждой подложки. Ведет полную историю происходящих событий по каждой подложке.
Разработан с учетом требований международных SEMI-стандартов для микроэлектроники.