Серия оборудования SNT Libra (СНТ Либра) специально разработана для нанесения оптических покрытий различной сложности. Может быть сконфигурирована для резистивного, электронно-лучевого, лазерного напылений. Контроль многослойных покрытий ведется одноволновым оптическим методом в режиме реального времени, с возможностью корректировки наносимого покрытия. Также может быть опционально установлен кварцевый контроль толщины. Оборудование может оснащаться карусельным либо планетарным механизмом оснастки под образцы в зависимости от требований к равномерности наносимых покрытий. Безмасляная откачка и устройство предварительной ионной очистки подложек позволяет получать свободные от загрязнений покрытия с высокой адгезией к подложке. Возможность использования ионного ассистирования позволяет снизить температуру нанесения покрытий на чувствительные к высокой температуре подложки.
Вся линейка оборудования имеет опцию встраиваемости в чистое помещение.
| Система | SNT Libra 700 | SNT Libra 1100 | SNT Libra 1500 |
| Технологии напыления | Электронно-лучевое испарение, Резистивное испарение, Ионное ассистирование (опция), Ионный источник очистки (опция) | ||
| Наносимые материалы | Любой общеиспользуемый материал (диэлектрики, металлы, сульфиды, фториды) | ||
| Диаметр вакуумной камеры, мм | 700 | 1100 | 1500 |
| Параметры системы | |||
| Система откачки | Фор-вакуум: сухие насосы | ||
| Высокий-вакуум: турбомолекулярные насосы / криогенные насосы | |||
| Предельный вакуум,Па | 8 х10-5 | ||
| Контроль покрытий | Система оптического контроля и/или кварцевого контроля | ||
| Подложкодержатель | Планетарного или купольного типа | ||
| Нагрев | ИК, ТЭН | ||
| Неравномерность покрытий по толщине, не выше , % | ± 1,5 - 2,5 | ||
| Отличительные особенности | Возможность нанесения однослойных и многослойных покрытий | ||