Установка вакуумного магнетронного распыления периодического действия SNT VegaH (СНТ Вега горизонтальная ) – это экономичное решение для мелкосерийного производства. Безмасляная откачка обеспечивает свободное от загрязнений покрытие. Установка оборудована устройством ионной очистки, что обеспечивает хорошую адгезию напыляемых пленок. Контроль покрытий осуществляется по сопротивлению на свидетеле, который находится в тех же условиях, что и подложки. Узел свидетеля также обеспечивает контроль температуры на подложках. Установка дает возможность одновременного напыления от 18 до 56 подложек (60*48 мм) в одном процессе, с гарантированной равномерностью по сопротивлению в партии от +-2% до +-5%, соответственно. Напыление до 3 различных материалов может осуществляться одновременно или последовательно за один цикл напыления. Опционально установка может быть исполнена для двустороннего одновременного напыления на подложку. Автоматизация процесса напыления через удобный программный интерфейс позволяет проводить напыление по заданному технологом рецепту.
| Система | SNT Vega H | ||
| Технологии напыления | Магнетронное распыление DC, Магнетронное распыление RF (опция), Ионный источник очистки | ||
| Наносимые материалы | Любой токопроводящий материал (для RF - диэлектрики), до 3 материалов в одном цикле напыления | ||
| Диаметр вакуумной камеры, мм | 800 | ||
| Параметры системы | |||
| Система откачки | Высоковакуумная безмасляная откачка | ||
| Предельный вакуум, Па | 5 х10-4 | ||
| Контроль покрытий | Система резистивного контроля или контроля по времени | ||
| Подложкодержатель | Планарного типа | ||
| Нагрев | ИК | ||
| Неравномерность покрытий, % | ± 2.0 - ± 5.0 | ||
| Отличительные особенности | Возможность двухстороннего напыления | ||