Современный аналог установки УВН-74. Применение – микроэлектроника.
Вакуумное технологическое оборудование SNT Taurus 74 (СНТ Таурус 74) предназначено для одностороннего и двустороннего напыления проводящих либо резистивных слоёв. Проверенная временем напылительная схема позволяет использовать как резистивное и электронное (с кольцевым катодом) испарение, так и магнетронное распыление. Установка оснащается источником ионно-лучевой очистки и контролем процесса напыления по сопротивлению "свидетеля". Возможна комплектация кварцевым контролем. Установка может работать в автоматическом, полуавтоматическом и ручном режимах.
| Система | SNT Taurus 74 | ||
| Технологии напыления | Магнетронное распыление, Электронное испарение, Резистивное испарение, Ионное ассистирование (опция) | ||
| Очистка | Ионный источник очистки | ||
| Наносимые материалы | Металлы, резистивные сплавы | ||
| Параметры системы | |||
| Система откачки | Форвакуум: сухие насосы | ||
| Высокий-вакуум: турбомолекулярные насосы / криогенные насосы | |||
| Предельный вакуум,Па | 8 х10-5 | ||
| Контроль напыления | Контроль по свидетелю и/или кварцевый контроль | ||
| Размер подложек, мм*мм | 60х48; 30х24 | ||
| Нагрев | до 350°С | ||
| Неравномерность покрытий, % | не более ± 5 | ||
| Отличительные особенности | Возможность нанесения однослойных и многослойных покрытий | ||