Установка линейного однопроходного типа для встраивания в чистую комнату.
Опциональна работа с подложкой либо с подложкодержателем при максимальном размере используемых подложек до 300*300 мм.
Опция автоматического загрузчика (SCARA) позволяет автоматизировать работу с установкой.
Шлюзовая камера обеспечивает непрерывный технологический процесс в напылительной камере, позволяя достигать производительности напыления до 12 м2 в рабочую смену.
Установка оснащена устройством предварительной ионной очистки подложек.
Реализована возможность последовательного магнетронного напыления до 5 различных материалов.
Компактные размеры установки и простота переналадки на другой материал обуславливают низкую стоимость жизненного цикла оборудования.